NSK成功開發高性能精密定位平臺
      2016/1/5 17:58:45

      ~已出展“SEMICON Japan 2015”~

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      日本精工株式會社(總部:東京都品川區,取締役 代表執行役社長 內山俊弘,以下簡稱NSK)),已于12月16日(星期三)~12月18日(星期五)出展了在Tokyo Big Sight(東京都江東區有明)舉辦的“SEMICON Japan 2015”展會。

      本次展會,NSK展出了新開發的高精度垂直軸平臺,該產品可滿足下一代半導體的制造裝置要求。同時,也一并展出市場中廣受好評的氣浮導軌和真空環境下使用的定位平臺。




      開發背景

      隨著智能手機與平板電腦等終端電子零部件小型化、細微化、三維化的發展趨勢,生產設備也在向高性能化方向發展,因此,市場對設備中使用的定位平臺提出了高性能、高精度的要求。

      迄今,NSK已成功開發出定位平臺高性能化所需要的關鍵零部件。

      1. 1)“高速·靜音&靜音Ⅱ滾珠絲杠”、“高性能滾珠絲杠”、“帶L1密封圈的滾珠絲杠”


      2. 2)NSK直線導軌TM“NH系列”“NS系列”


      3. 3)高性能標準軸承“NSK HPS”




      高精度垂直軸平臺的特點

      1. 1)垂直導向采用空氣軸承,可達到±0.1μm以下的平直度重復精度*1


      2. 2)采用新開發的自重減輕結構,可實現驅動馬達小型化(50%以下)


      3. 3)可達到與ISO規格中最高等級1級相當的清潔度*2


      4. 4)采用楔形結構,可實現垂直方向的高精度定位


      *1: 0.1μm = 1/10000mm

      *2:所謂ISO 等級1級是指每立方米中0.1μm的粒子數量小于10個

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      今后,NSK將針對各種需求不斷提供相應的解決方案,并進一步對環保型產業機械領域的發展作出貢獻。



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